Тестер микросхем MST14 – это первый отечественный тестер, спроектированный по технологии открытого стандарта AXIe-1 (ГОСТ Р 58286-2018) и предназначенный для выполнения функционального и параметрического контроля микросхем как в корпусе, так и для проведения измерений на пластине в составе с зондовыми станциями, в том числе при воздействии повышенных и пониженных температур (с помощью термострима).
Ключевые особенности:
- Количество цифровых каналов: от 32 до 1408 шт
- Основные характеристики при использовании модуля pin-электроники Р128С200М: память векторов – до 256М; частота ФК – до 500 МГц; диапазон формирования и измерения напряжения от -1,5 В до +6,5 В; OTA – не более ±275 пс
- Основные характеристики при использовании модуля pin-электроники HVP32C62M: память векторов – до 256М; частота ФК – до 62,5 МГц; диапазон формирования и измерения напряжения от -19 В до +19 В; 2 канала питания; 1 канал осциллографа; 1 канала параметрического измерителя
- Основные характеристики при использовании модулей измерительных источников питания DPS12C6V и DPS48C7V5: напряжение от -8.5 В до +8.5 В, ток до 28А
- Встроенный модуль MCR с интерфейсами I2C, SPI, 2xJTAG, 3 постоянных источника: +5В/10A, +15B/1,8A, -15B/-1,8A, 32 канала DIO
- Работа в режиме «Мультисайт», режимах параллельного контроля в разных частотных доменах
- Автоматический прижимной механизм с сервоприводом и электронным управлением: никаких перекосов загрузочной платы и отсутствия контактов с объектом контроля
- Воздушно принудительная система охлаждения направленного действия
- Интеграция с модулями в стандартах AXIe, PXIe, в т.ч. других производителей
- Интеграция с любыми зондовыми станциями, проходными камерами, манипуляторами (разбраковщиками)
- Проведение измерений при температурных воздействиях – работа с системами типа «термострим»
- Госреестр СИ №88354-23
- Разработка специализированных модулей под задачи Заказчиков
- Вся система полностью разработана и произведена в России (г. Зеленоград)
Общие технические характеристики | |
Число независимых измерительных каналов: до 1408 | Количество частотных доменов: 4 |
Максимальная скорость следования данных: 1000 Мбит/с | Объем памяти ответов ошибок на канал: 128М |
Дискретность установки временных меток: 5 пс | Пределы допускаемой абсолютной погрешности времени формирования входного перепада (IEPA): ±125 пс |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности времени формирования входных перепадов и контроля выходных перепадов (ОТА): ±275 пс | Пределы допускаемой абсолютной погрешности времени контроля выходного перепада (OEPA): ±125 пс |
Характеристики PPMU | |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности формирования и измерения напряжения: (±(0,002×U+3) -2,1×I) мВ | |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности формирования и измерения силы тока:
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности ограничения силы тока:
|
Диапазон напряжений ограничения верхнего и нижнего уровней: от −1,5 В до 6,5 В | Пределы допускаемой абсолютной погрешности напряжений ограничения: ±(0,003×U+25) мВ |
Характеристики драйвера каналов | |
Число высоковольтных каналов: 48 | Диапазон высоковольтного уровня напряжения драйвера: от 0 до 13 В |
Диапазон уровней напряжений драйвера: от −1,5 до 6,5 В | Пределы допускаемой абсолютной погрешности формирования уровней напряжений драйвера: ± (0,002×U + 10) мВ |
Абсолютное значение силы постоянного тока на выходе драйвера: не менее 60 мА | Номинальное значение и пределы допускаемой абсолютной погрешности выходного сопротивления драйвера: (50 ± 2) Ом |
Длительность фронта (среза) сигнала драйвера на нагрузке 50 Ом:
|
Минимальная длительность импульса сигнала драйвера на нагрузке 50 Ом:
|
Программирование крутизны фронта (среза) сигнала: от 25 до 100 % | Пределы допускаемой абсолютной погрешности формирования высоковольтного уровня напряжения драйвера: ±(0,002×U + 35) мВ |
Характеристики компараторов каналов | |
Диапазон уровней напряжений компараторов: от −1,5 до 6,5 В | Пределы допускаемой абсолютной погрешности формирования уровней напряжений компараторов: ±(0,002×U+15) мВ |
Минимальная длительность импульса сигнала при контроле компараторами: не более 0,75 нс | |
Характеристики активной нагрузки каналов | |
Диапазон втекающей и вытекающей силы тока активной нагрузки: от 0 до 20 мА | Пределы допускаемой абсолютной погрешности формирования втекающей и вытекающей силы тока активной нагрузки: ±(0,002×I+ 50) мкА |
Диапазон формирования напряжения переключения активной нагрузки: от 1,5 до 6,5 В | Пределы допускаемой абсолютной погрешности формирования напряжения переключения активной нагрузки: ±(0,003×U+30) мВ |
Характеристики ограничителей напряжения каналов | |
Диапазон напряжений ограничения: от 2,2 до 7,2 В | Пределы допускаемой абсолютной погрешности напряжений ограничения: ±(0,003×U+30) мВ |